10 januari 2020

Dries van Oosten ontvangt NWO HTSM-subsidie

NWO heeft een subsidie toegekend aan Dries van Oosten en Paul Planken (ARCNL/UvA) voor een project over optische schade aan halfgeleiders. Deze subside valt binnen het High Tech Systems and Materials (HTSM) programma van NWO. Het project zal worden uitgevoerd in samenwerking met de bedrijven ASML and ASM-ALSI.

In de halfgeleiderindustrie worden geavanceerde optische sensoren gebruikt om ervoor te zorgen dat structuren tijdens het lithografische process steeds op de juist positie worden geschreven. Omdat deze sensoren steeds sneller hun werk moeten kunnen doen, wordt gebruikt gemaakt van lichtbronnen met steeds hogere intensiteit, wat kan resulteren in optische schade aan de halfgeleider.

Tijdens dit project zullen de onderzoekers, samen met onderzoekers van ASML, de verschillende soorten schade in kaart brengen om vervolgens de fundamentele oorzaken van de schade te achterhalen. In veel gevallen is er weinig bekend over de oorzaken van optische schade aan materialen die voor de moderne halfgeleider-industrie belangrijk zijn. Ons onderzoek zal ons in staat stellen om, aan de hand van experimentele resultaten, nieuwe modellen op te stellen die voorspellen wanneer optische schade in deze materialen optreedt en hoe deze schade te voorkomen is.

Over HTSM

Het programma High Tech Systemen en Materialen (HTSM) daagt onderzoekers en bedrijven uit gezamenlijk kennis te ontwikkelen voor technologische doorbraken en innovatieve toepassingen. De jaarlijkse HTSM-call, georganiseerd door NWO-domein Toegepaste en Technische Wetenschappen (TTW), is een uitvloeisel van het door het kabinet ingezette topsectorenbeleid. Dit jaar kunnen in totaal 22 projecten aan de slag.